MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）即微电子机械系统，是一种集成了机械、电子、光学、成像等多种技术的微型化系统。MEMS被广泛应用于检测、测量、控制、成像等领域。
以上是国内MEMs学校排名，清华大学在MEMS方面一直处于领先地位，浙江大学、上海交通大学、南京大学、北京大学等也在MEMS领域有着卓越的研究成果。中国科学技术大学、西安电子科技大学、华中科技大学等学校在MEMS方面也取得了显著进展。
MEMS技术是高新技术的重要组成部分，随着科技和产业的发展，MEMS的应用领域将会越来越广泛，也将会对人们的生活和工作产生越来越大的影响。